N2防逆火設計防護 • 其主要設計在於當偵測點（Scrubber Inlet Port） 發現溫度異常時，進行大量N2 Purge，以降低溫度， 維持壓力等方式，防止管路溫度過高，避免引發氣 體燃燒或其他反應，確保製程及廠務安全，以下僅 就其設計原理及安裝需求作一說明.
考量其注入位置，適當的注入點，可使溫度混合均勻， 並及時反應異常溫度，依據工業技術研究院能源環境 所以「霍式紅外線質譜儀（FTIR）量測Local Scrubber處理效率」之相關方式及經驗，於半導體廠 務管路，以2 inch管路為例，約> 1.5~2.5 m即可達到 均勻混合
N2防逆火裝置安裝 由以上得知，理想的N2防逆火裝置需注意到流量， 位置之設定，整理如下 • 位置：> 1.5~2.5 m。 • 以下亦提供「空氣配管壓力-流量表」以供參考，此 數據為無摩擦損失，無速度損失之理論最大流量值， 真實狀況須視現場配管狀況而定。