使用HOT N2的作用
▪SEMI&FPD工艺中，以高压喷射HOT N2的方式帮助输送管路内的副产物及未反应气体，防止管道内堵塞的发生。
主要的功能
[稀释]
利用惰性气体稀释，中和副产物，并延迟管道内粉尘的堆积
[利用热能]
加热后的氮气可以通过激活热能促进副产物的分子活动，并防止粉尘的凝固
[输送]
采用专业的空气动力学原理，通过高压喷射HOT N2加速了副产物在管道内的流速，尤其提高了沉积高危区“管道壁面”上的产物流速
效果及优点
Ø独特的设计，支持产物恒定的流速，降低粉尘的沉积速度
Ø可以根据不同管道的规格进行产品设计
Ø发生故障时可以单独替换加热装置
Ø注入的氮气的温度与压力可进行实时设置
Ø方便现场PM，对设备内部的粉尘进行清理，预防及维护
Ø易于安装的设计方式，可在指定的区域内简便的进行与真空泵，尾气处理器的连接